氣相沉積爐用途及特點(diǎn)

時(shí)間：2021/4/29 11:00:00 來(lái)源：http://m.xgp0.cn/news603326.html

一、設(shè)備用途：

化學(xué)氣相沉積爐主要用于碳化硅（SIC）及氮化硼（BN）等新材料的制備。

二、氣相沉積爐設(shè)備特點(diǎn)：

1 立式結(jié)構(gòu)，氣相沉積爐爐門采用絲杠升降或液壓升降/手動(dòng)升降。

2 雙層爐殼結(jié)構(gòu)，內(nèi)層不銹鋼，外層為碳鋼，中間通水冷卻。石墨碳棒加熱體，石墨碳?xì)直貙颖匦Ч谩?/p>

3 控制方式為PLC加觸摸屏方式，有手動(dòng)及自動(dòng)控制切換。自動(dòng)化程度高，操作方便。

4 主要電器元件采用知名品牌，性能穩(wěn)定、可靠。

5 配備出、裝料料車，方便操作及出裝料，提高工作效率。

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